Датчики измерительных систем

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»

М.Д.



7%


Неск, минут


+


ИК-спектромстрял


+


+


~5%.


Неск. секунд


+


+


NH3


Катарометр



+


Н2, СН«, SO-и др


Аг 5%


+


+


УФ-спсктромотрня


м.д.


+


Неск. секунд


+


ИК-спектромстрия


+


+


До 5%


Неск. секунд


+


+


СН»


Масс-спектрометрия


0,001 м,д.об.



1%


<1с


+


+

Тис. 1915 Схема газочувствительного нолевого транзистора (GASFET).


— термообрвСотанный SiOa; S — алюминиевые соединения; 3 — источник; 4—осажденный SiOj; е — полиаер; £ — мембрана; 7—аатнор; В — имплантированный канал р-типа, 9 — подложка.


и прогресс, достигнутый в микроэлектронике, можно утверждать, что датчикам на основе твердых электролитов принадлежит будущее. Разработка новых твердых электролитов позволила разработать датчики для определения хлора, диоксида и триоксида серы. С другой стороны, растворение соответствую-.щих ионов в твердых электролитах кажется многообещающим ..для исследования других газов и для существенного снижения рабочей температуры датчиков, в частности датчиков для определения кислорода.


Бурное развитие в последнее десятилетие микроэлектронной технологии позволило разработать полностью твердотельный -кислородный датчик, в котором в качестве электролита используется слой стабилизированного оксида циркония толщиной ~5000 А. Благодаря технологии тонких пленок удалось долбиться заметного снижения рабочей температуры датчиков {<300 °С). Однако трудности получения бездефектных оксид-•ных слоев пока тормозят промышленную разработку таких приборов.


Начавшиеся несколько раньше исследования датчиков типа GASFET — газочувствительных полевых транзисторов — продолжаются и сегодня; речь идет о транзисторе типа металл — оксид—- полупроводник, сетка которого (или затвор) выполняется •в виде мембраны, проявляющей селективность к анализируемым веществам (рис. 19.15). Эти новые датчики обладают рядом достоинств; возможна нх миниатюризация, кроме того, автоматизация их производства -позволит улучшить воспроизводимость характеристик и снизить себестоимость. Эти приборы обеспечили возможность анализировать водород и водородосодержащие газы H2S и Гч’Нз Сетка транзистора для такого применения изготавливается из палладия. Несомненно, совершенствование .датчиков этого типа для анализа газов станет в ближайшие годы объектом интенсивных исследований.

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»