Датчики измерительных систем

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»


Влияние температуры на чувствительный элемент датчика .пренебрежимо -мало, что позволяет обойтись без температурной -компенсации. Чувствительный элемент можно погружать в воду •практически без риска его испортить.


Как и резистивные датчики, эти гигрометры можно использовать совместно ‘С портативными калибровочными приборами, в которых используются насыщенные -растворы солей


17.5.3. Емкостный гигрометр на основе диэлектрического слоя окоида алюминия


Принцип действия и конструкция. Используемый диэлектрик представляет собой слой оксида алюминия, нанесенный посредством анодного осаждения -на алюминиевую пласти-нку, пред-«тавляющую собой первый электрод, -в качестве другого электрода служит слой -металла, нанесенный ша диэлектрик (рис.


37.8, а) Импеданс гигрометров этого типа, как и описанных в предыдущем разделе, меняется в зависимости от относительной влажности окружающей среды (рве 17 8, б).


Исследования показали что при толщине оксидного покрытия менее 0,3 мкм изменение импеданса этого конденсатора зависит только от парциального давления водяного пара и не зависит от температуры. Это позволяет измерять абсолютную влажность


Внешний зяек/яроЭ

Внутренний зле/апрод о


Рис 17.& Гигрометр на основе диэлектрика (Ai2Os)


с — я гейка проиэчодстоа фирмы “’anj.r-rfiics б—эк иватситиа» э юктркчсскпя схема. Ко, Со— имспдакс компактной гасти К, — сопротпвтсяие боковой поверхности гор Кг, Сг — импеданс участка между дном пор и анутре i ihm электродом


Анодное осаждение осуществляется путем электролиза водного раствора серной кислоты, причем анод изготавливается из алюминия. Выделяющийся на этом электроде кислород превращает металл в оксид, при осаждении которого возникает множество точек охлопывания, что приводит к пористой структуре слоя


Например, при использовании сернокислотной ванны (35%), температуре 10и напряжении электролиза 15 В образуется порядка 7,7-10i0 пор на 1 см2 диаметром от 100 до 300 А каждая, так что реальная площадь адсорбции составляет ~0,2 м* на 1 см2 эффективной площади

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»