Датчики измерительных систем

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»

Рис 14.15 Ионизационный датчик с iпричин катодом (нормальный триод) (материалы фирмы Balzers)


■3 — вить (катод).    Р Р •    •


Нормальный триод пригоден для измерения давления выше примерно 10-5 Па; прибор Бай ярда — Альперта позволяет расширить рабочий диапазон измерений в сторопу очень низких давлений вплоть до 10~*+10~8 Па, а для некоторых моделей—■ даже больше. Оба типа датчиков основаны на одном и том же принципе На сетку анода подается положительный потенциал +150-^+200 В по отношению к коллектору, соединенному с корпусом измерительного прибора, а на катод — также положительный потенциал +30Ч-+50 ТВ по отношению к коллектору. Электроны, испущенные катодом, ускоряются иод действием разности потенциалов между сеткой и катодом. Часть из них создает ионы в пространстве между сеткой и катодом, что также сопровождается энергетическими потерями, и захватывается сеткой. Другая часть электронов с более высокой энергией проникает в область между сеткой и коллектором через отверстия в сетке и также ионизирует газ, теряя при этом свою энергию. Те электроны, которые не претерпевают соударений и обладают в силу этого максимальной эпергией, пе выходят за пределы эквипотенциальной зоны, соответствующей потенциалу катода, и возвращаются назад. Они также могут участвовать в ионизации газа и совершать затухающие колебания (колебания Баркгаузепа — Курца) относительно сетки, после чего захватываются ею Это может приводить к увеличению длины пробега

Ряс 14.16 Вакуумметр Байярда— Альперта (мятериа |Ы фирмы Van ап) а — принципиальная схема; 6 — пример исполнения. I — полый цилиндр; 2 — сетка (анод); 3—коллектор ионов; 4—нить (катод).


электронов и увеличивать также число создаваемых пар ион — электрон. Ионы, образующиеся в пространстве между сеткой и коллектором, захватываются последним и создают ток коллектора L. Электроны захватываются сеткой, образуя ток ieкоторый практически равен току катодной эмиссии. Поскольку число образующихся при этом ионов пропорционально числу ионизирующих электронов и числу встреченных молекул газа, т. е. давлению газа р, можно записать:

Скачать в djvu «Датчики измерительных систем»