Современная вакуумная техника

Описываются вопросы конструирования насосов, вакуумных установок и их деталей, методы и аппаратура для определения газосодержания материалов, результаты физических исследований ионно-сорбционных процессов и процессов распыления материалов в вакууме ионами различных энергий, методы и аппаратура для получения тонких плёнок, вопросы вакуумной метрики. ред. пер. Н. В. Черепнин

Читать далее и скачать

Конструирование и производство типовых приборов и устройств микроэлектроники

Состоит из шести лабораторных работ, каждая из которых содержит краткие сведения из теории, указания и последовательность выполнения, описание лабораторной установки, требования к отчёту. Для студентов приборостроительных специальностей. М. Ф. Жаркой, Г. А. Акимов, Л. М. Язев; БГТУ 'ВОЕНМЕХ'

Читать далее и скачать