Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании

Рассмотрены основные виды вакуумного оборудования со шлюзовыми системами, объяснена сущность процессов шлюзования, а также дан краткий анализ их достоинств и недостатков. Кроме того, приведены конструктивные схемы и сравнительные характеристики шлюзовых систем, изложены основные принципы их компоновки и работы в технологическом оборудовании, а также основы расчёта шлюзовых систем. Для преподавателей профессионально-технических учебных заведений. В. В. Одиноков

Читать далее и скачать