Современная вакуумная техника

Описываются вопросы конструирования насосов, вакуумных установок и их деталей, методы и аппаратура для определения газосодержания материалов, результаты физических исследований ионно-сорбционных процессов и процессов распыления материалов в вакууме ионами различных энергий, методы и аппаратура для получения тонких плёнок, вопросы вакуумной метрики. ред. пер. Н. В. Черепнин

Читать далее и скачать