Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

Описаны основные закономерности процессов взаимодействия электронов и ионов с твёрдым телом, приведены главные способы получения потоков электронов и ионов, а также варианты формирования и управления пучками заряженных частиц, вопросы разработки источников электронов и ионов, причём раздельно рассматриваются источники ионов газов и твёрдых веществ, в частности ионов металлов. Приводятся возможные варианты классификаций оборудования, электронных пушек и ионных источников по характеру процессов, взятых за основу при их конструировании. А. И. Аксёнов, Д. А. Носков; Томск. гос. ун-т систем управления и радиоэлектроники

Читать далее и скачать