Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании

Скачать в pdf «Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании»




В.В.Одиноков


ШЛЮЗОВЫЕ СИСТЕМЫ В ВАКУУМВОМ ОБОРУДОВАВИИ


Б Б КЗ 84 0 42


УДК 621.38


Одобрено Ученым советом Государственного комитета СССР по профессионально-техническому образованию в качестве учебного пособия для профессионально-технических учебных заведений.


Рецензент: И. Н. Рубцов, канд. техн. наук


Со всеми предложениями и замечаниями просим обращаться по адресу: 101430, Москва, Неглинная ул., 29/14, издательство «Высшая школа».


Одинокое В. В.


042 Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании: Учеб, пособие для проф.-техн. учеб, заведений.— М.: Высш. школа, 1981.—55 с., ил.— (Профтехобразование. Вакуумная техника).


5 к.


В учебном пособии рассмотрены основные виды вакуумного оборудования со шлюзовымисистемами, объяснена сущность процессов шлюзования, а также дан краткий анализ их достоинств •и недостатков. Кроме того, приведены конструктивные схемы и сравнительные характеристики шлюзовых систем, изложены основные принципы их компоновки и работы в технологическом оборудовании, а также основы расчета шлюзовых систем.


■Брошюра является учебным пособием для преподавателей и мастеров профессионально-технических учебных заведений.


о 30407431-54-81    2403000000    ББК384


052(01)—81    6Ф0.3


© Издательство «Высшая школа», 1981.


Задачи, поставленные Коммунистической партией и Советским правительством перед электронной промышленностью, ориентируют ее на интенсивное внедрение новых технологических процессов, высокопроизводительного оборудования, массовый выпуск изделий повышенного качества.


Многие прогрессивные технологические процессы включают нанесение покрытия в вакууме, в первую очередь при изготовлении тонкопленочных элементов интегральных схем. Важная роль здесь принадлежит вакуумному оборудованию, повышение производительности ко-^ торого — задача технически сложная. Для ее выполнения применяют групповые устройства загрузки и обработки изделий, высокопроизводительные устройства нанесения покрытия, скоростные откачные средства.


Шлюзовые системц загрузко й выгрузки изделий позволяют рационально и эффективно повышать производительность оборудования и качество изделий. В связи с этим все более широко применяют эти системы, хотя они достаточно сложны, специфичны и требуют умелой эксплуатации.

Скачать в pdf «Шлюзовые системы в вакуумном оборудовании»