Растровая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ. Аппаратура, принцип работы, применение

Скачать в pdf «Растровая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ. Аппаратура, принцип работы, применение»



4. О создателях курса


Быков Юрий Александрович


Профессор МГТУ им.    Н. Э. Баумана,    кафедра


«Материаловедение», научный руководитель «Лаборатории тонких физических методов исследования материалов», доктор технических наук


Карпухин Сергей Дмитриевич


Доцент МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра «Материаловедение», сотрудник «Лаборатории тонких физических методов исследования материалов», кандидат технических наук





Аспирант МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра «Материаловедение»



Copiright ©2001-2003 Лаборатория тонких физических методов исследования структуры материалов


http://lab.bmstu.ru/rem/index.htm


Растровая электронная микроскопия и рентгеноспектральныи микроанализ.


Аппаратура, принцип работы, применение учебное пособие


Учетное пособие мджет бы-


щкрмендова но слушателям институтов повыптен;н квалификации кадров


но новым направлениям развития техники и технологин/а также


студентам (цтециальностеи,связанных с прецизионной


оценкой поверхности и нанотехнологиями.


Растровый электронный микроскоп (РЭМ) широко используется в    научно


исследовательских лабораториях. По своим техническим возможностям он сочетает в себе качества как светового (СМ), так и просвечивающего электронного (ПЭМ) микроскопов, но является более многофункциональным. В основе РЭМ лежит сканирование поверхности образца электронным зондом и детектирование (распознавание) возникающего при этом широкого спектра излучений. Сигналами для получения изображения в РЭМ служат вторичные, отраженные и поглощённые электроны. Другие эффекты, в частности рентгеновское излучение, используется для получения дополнительной информации о химическом составе материала исследуемого образца (РСМА — рентгеноспектральный микроанализ). Все это определяет методические особенности использования РЭМ и создает целый ряд новых дополнительных аналитических возможностей в области электронной микроскопии. Высокая информативность, простота изготовления объектов для исследования, высокая степень автоматизации количественного анализа изображения и обработки результатов измерений и др. делают РЭМ наиболее универсальным прибором для исследования структуры материалов и топографии поверхности.

Скачать в pdf «Растровая электронная микроскопия и рентгеноспектральный микроанализ. Аппаратура, принцип работы, применение»