Процессы лазерной и электронно-ионной технологии

Скачать в pdf «Процессы лазерной и электронно-ионной технологии»




Федеральное агентство по образованию


ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (ТУСУР)


Кафедра электронных приборов (ЭП)


А.И. Аксенов, Д.А. Носков

Процессы лазерной и электронно-ионной технологии


Учебное пособие


Томск 2007


Аксенов А.И., Носков Д.А.


Процессы лазерной и электронно-ионной технологии: Учебное пособие. -Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2007. — 110 с.


1.    Введение…………………………………………………………………………………………………….5


2.    Торможение и пробег электронов в твердом теле…………………………………………7


3.    Отражение электронов и вторичная эмиссия. Эмиссия электронов из твердого тела………………………………………………………………………………………………………….12


4.    Свечение твердого тела, возбуждаемое воздействием потока электронов…..16


5.    Рентгеновское излучение при электронной бомбардировке………………………..19


6.    Физико-химические превращения при облучении электронами………………….26


7.    Тепловые процессы при облучении пучком электронов……………………………..30


8.    Процессы торможения ионов в веществе…………………………………………………..35


8.1    Потери энергии при торможении ионов в веществе………………………………36


8.2    Пробег ионов……………………………………………………………………………………….37


9.    Процессы ионного (катодного) распыления……………………………………………….40


10.    Вторичная ионно-электронная эмиссия……………………………………………………48


11.    Химическое действие ионов…………………………………………………………………….51


12.    Корпускулярно-лучевые установки………………………………………………………….52


12.1.    Классификация корпускулярно-лучевых установок……………………………53


13.    Принцип устройства корпускулярно-лучевых установок………………………….56


14.    Корпускулярно-оптические системы……………………………………………………….58


14.1.    Электронно-оптические системы……………………………………………………….60


14.2.    Ионно-оптические системы……………………………………………………………….65


15.    Извлечение ионов из плазмы и первичное формирование ионного пучка….68


16.    Источники ионов…………………………………………………………………………………….73


16.1. Общие требования и классификация ионных источников…………………..73


16.2    Источники ионов газов………………………………………………………………………79


16.3    Источники ионов металлов и твердых веществ…………………………………..82


16.4    Источники ионов с поверхностной ионизацией и электронным ударом.83


16.5    Плазменные источники ионов с использованием испарения чистых веществ………………………………………………………………………………………………………..85


16.6    Плазменные источники ионов тугоплавких элементов с катодным распылением рабочего вещества…………………………………………………………………….90


16.7.    Источники ионов с использованием процессов диссоциации химических

Скачать в pdf «Процессы лазерной и электронно-ионной технологии»